分子泵
|
Hipace10-800 |
产品优势 |
客户收益 |
|
|
■ 设计轻巧,可任意角度安装 |
■ 占用空间小,易于系统集成 |
|
■ 现场更换轴承 |
■ 保养维护频率低,节约成本 |
|
|
■ 高可鎜度,耐用结构设计及轴承系统 |
■ 维护间隔长 |
|
|
■ 高性能控制器,帮助快速启动 |
■ 缩短生产工艺时间 |
|
型号 |
HiPace 10 |
HiPace 30 |
HiPace 60 |
HiPace 80 |
HiPace 300 |
HiPace 350 |
HiPace 400 |
HiPace 450 |
HiPace 700 |
HiPace 800 |
|
抽速l/s |
10 |
32 |
64 |
67 |
260 |
300 |
355 |
380 |
685 |
790 |
|
资料 |
||||||||||
|
资料 |
说明书下载 |
|
Hipace1200-2300 |
产品优势 |
客户收益 |
|
|
■ 特殊结构设计,可应用于高粉尘制程 |
■ 维护间隔周期长 |
|
■ 现场更换轴承 |
■ 节约成本 |
|
|
■ 通讯接口多样化 |
■ 易于系统集成 |
|
|
■ 通过集成控制器显示设备内传感参数 |
■ 安全等级高 |
|
型号 |
HiPace 1200 |
HiPace 1500 |
HiPace 1800 |
HiPace 2300 |
|
抽速 l/s |
1250 |
1400 |
1450 |
1900 |
|
资料 |
||||
|
资料 |
|
SplitFlow |
产品优势 |
客户收益 |
|
|
■ 取代多个涡轮分子泵 |
■ 极大地降低成本 |
|
■ 基于整体式设计降低3件数量, ■ 极大地提高了设备的稳定性及维护保养的速度 |
||
|
■ 可在现场更换滚珠轴承 |
■ 与系统紧密结合 |
|
|
■ 独立的机械和真空设计 |
■ 充分满足客户定制化需求 |
|
分子泵型号 |
抽速 l/s |
启动压强 hPa |
极限压力 |
启动时间 |
||
|
氮气 |
氦气 |
氢气 |
氮气 |
hPa |
min |
|
|
SplitFlow™ 50 |
53 |
27 |
21 |
20 |
< 4X10–7 |
1.3 |
| 选型下载 | ||||||
| 说明书下载 | ||||||
|
Hipace300-800M ATH500M |
产品优势 |
客户收益 |
|
|
■ 高效的磁悬浮技术以降低能耗 |
■ 运营成本低 |
|
■ 全磁悬浮系统 |
■ 免维护,使用寿命长 |
|
|
■ 低振动,低磁场 |
■ 为您的工艺提供高可鎜性 |
|
|
■ 智能控制器可控制转速 |
■ 无需加装控制阀门 |
|
型号 |
HiPace 300 M |
ATH 500 M |
HiPace 700 M |
HiPace 800 M |
|
抽速 l/s |
255 |
550 |
685 |
790 |
|
资料 |
||||
|
资料 |
|
ATH1600-3204M ATP2300M |
产品优势 |
客户收益 |
|
|
■ 磁悬浮 |
■ 免维护,使用寿命长 |
|
■ 智能传感器和电器设计 |
■ 操作安全性高 |
|
|
■ 可自由调整转子转速 |
■ 针对生产工艺提供最优方案 |
|
|
■ 可任意角度安装 |
■ 易于系统集成 |
|
型号 |
ATH 1603M |
ATH 2303M |
ATH 2804M |
ATH 3204M |
ATP 2300M |
|
抽速 l/s |
1400 |
2150 |
2200 |
2800 |
1950 |
|
资料 |
|||||
|
资料 |
说明书下载 |
说明书下载 |
说明书下载 |
