工作用油
蒙天真空为旋片泵提供不同的泵油（真空油）。通过使用适合于您工艺的泵油，可以显著提高泵的使用寿命。单一矿物油可覆盖多种应用，例如使用空气或惰性气体以及水蒸气的泵。复合蒸馏矿物油虽然可用于高要求的应用中，但是会造成化学腐蚀或等离子体离化。它适用于温度低于 120 °C 的情况。全氟聚醚 (PFPE) 具有化学惰性，适用于使用强腐蚀化学品的工艺，例如半导体和薄膜工业，以及氧气含量大于21%的介质。
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图片 |
产品名称 |
属性 |
容量 |
适用产品 |
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P3 矿物油 |
适用于抽吸空气、惰性气体和稀有气体的标准应用 适用于高运行温度最高95°C时使用 极低的蒸气压，可实现的极限压力1·10-3hpa 用于在50和60HZ的主电源中运行的泵 非腐蚀性气体排放 耐氧化 |
1L/5L/20L |
Duoline,Unoline, Henaline and Unoline plus, OktaLine G |
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F3 全氟聚醚 |
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35ml/40ml /50ml/65ml /250ml/1L |
HiPace分子泵系列 |
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真空泵油 Lubricant Inland 45 |
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0.5L |
DuoLine |
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A120 烃油 |
适用于一般用途、非腐蚀性气体、低温启动的烃油 用于在50HZ的主电源中运行的泵 |
2L/10L/60L |
Pascal |
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A200 蒸馏烃油 |
适用于轻微腐蚀性气体 耐受等离子体离子 低返流 用于在50和60HZ的主电源中运行的泵 |
1L/19L |
Pascal |
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A102烃油 |
干燥和水蒸气抽吸 冷冻干燥 用于在50和60HZ的主电源中运行的泵 |
2L |
Pascal |
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D1合成二酯基油 |
适用于抽吸空气、惰性气体和稀有气体的标准应用 适用于高运行温度最高120°C时使用 极低的蒸气压，可实现的极限压力5·10-2hpa
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1L/5L/20L |
Duoline, Unoline Henaline OktaLin，OktaLine G,Hepta |
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阿皮松真空矿物油脂M型 |
不含硅酮 比硅酮油脂蒸汽压低 没有蠕动
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25g |
Pascal |
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A121烃油 |
用于在50和60HZ的主电源中运行的泵 耐酸和有机蒸汽 反复工作在大气压下 不能用于等离子刻蚀 高温下稳定抽气 |
1L |
Pascal |
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A119烃油 |
用于在60HZ的主电源中运行的泵 用于非腐蚀性气体 |
1L |
Pascal |
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TL 011真空泵油Lubricant |
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0.5L/1L |
Henaline |
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F5全氟聚醚 |
适用于抽吸氧气、臭氧、卤素、有机和无机溶剂、HCL、BF3、HF、PO3、氟 适用于高运行温度最高120°C时使用 适用于具有＜20m3/h抽吸能力的泵 极低的蒸气压，可实现的极限压力1·10-3hpa
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0.5L/5L |
OktaLin,OktaLine G,Hepta |
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F4全氟聚醚 |
适用于抽吸氧气、臭氧、卤素、有机和无机溶剂、HCL、BF3、HF、PO3、氟 适用于高运行温度最高120°C时使用 适用于具有＜20m3/h抽吸能力的泵 极低的蒸气压，可实现的极限压力1·10-3hpa
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1L |
DuoLine、UnoLine |
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A300白矿物油 |
耐受等离子体离子 可用于路易斯酸和卤素气体抽气 低返流 用于在50和60HZ的主电源中运行的泵 高腐蚀性气体排气 |
1L |
Pascal |
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A111烃油 |
高温环境稳定运行 在循环的过程中回收气体 对氧气敏感（不能频繁的在大气压下工作） 用于在50和60HZ的主电源中运行的泵
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2L |
Pascal |
